MLplus - Multilayer- und Dünnschichtanalyse mit RFA

Die Lagendicke und die chemische Zusammensetzung von Multilayer-Proben kann mit Hilfe der Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) leicht bestimmt werden. Die Multilayer-Proben werden direkt mit dem wellenlängendispersiven Röntgenfluoreszenzspektrometer (WDRFA) S4 PIONEER oder S8 TIGER analysiert.

MLplus erweitert SPECTRAplus für die Analyse von Singlelayer- und Multilayer-Proben mit der wellenlängendispersiven Röntgenfluoreszenzanalyse (WDRFA). Dieses Softwareprogramm ermöglicht die direkte Bestimmung von Dicke und Zusammensetzung von mehrschichtigen Proben bis hinunter zu mehreren Atomschichten (unter 1 nm) und bis in den µm- bzw. sogar den mm-Bereich.

MLplus verwendet zur Berechnung die Methode der Fundamentalparameter. Die Bestimmung von Dicke und Zusammensetzung in MLplus basiert auf der standardlosen Kalibrierung von SPECTRAplus, d. h. es sind keine spezifischen Multilayer-Standards erforderlich. Zur Optimierung der Ergebnisse kann jedoch jeder verfügbare Multilayer-Standard verwendet werden.

MLplus kann zur automatischen Auswertung nach jeder einzelnen Messung verwendet werden, sobald ein Modell erstellt wurde. Damit steht die Multilayer-Analyse der routinemäßigen Prozeßkontrolle zur Verfügung, z. B. bei der Produktion von mehrschichtigem Glas oder beschichtetem Stahl.